高精度MEMS製造工藝

MEMS製造技術用於將機械元件、傳感器、致動器、電子電路等集成在單個矽基板、玻璃基板或有機材料上，均實現了亞微米精度。與半導體電路一樣，MEMS也是在包含光刻、蝕刻和其他步驟的工藝中製造的。在手表、手機和電腦等許多現代設備的製造中，這是一項必不可少的技術。愛普生多年來一直在應用這項技術，先是用於加工機械手表零件，後來用於加工石英手表中使用的晶體單元。經過幾十年的經驗積累和改進，愛普生的MEMS技術已成為業內最精確的技術之一。

采用MEMS技術製造的複雜零件

愛普生MEMS加工技術的優勢在於其在三維方麵體現出的卓越精度。普通的半導體製造要求優異的平麵尺寸精度，而對高度方向上的精度則沒有過高的要求。使用通用半導體製造設備製造的結構存在幾個百分點的高度差異。相比之下，愛普生的MEMS製造技術將這種差異縮小到了普通半導體工藝的五分之一到十分之一左右。我們的技術能夠製作出複雜的零件，如薄膜壓電（TFP）致動器、墨水通道和噴嘴蓋板等。

在光敏樹脂上生產的熱發泡打印頭中的噴嘴長度為數微米，而使用MEMS技術在矽片上製造的MicroTFP打印芯片中的噴嘴可能是這一長度的10倍以上，從而可以獲得超高液滴滴落精度和驚人的圖像質量。

PrecisionCore打印頭

構成PrecisionCore打印頭的MicroTFP打印芯片中的TFP致動器、墨水通道和噴嘴蓋板使用MEMS技術，以亞微米級精度製造。智能墨滴變換技術（VSDT）是一種先進的彎液麵控製技術，有助於愛普生打印機實現驚人的速度與卓越的打印質量。PrecisionCore打印頭采用愛普生的MEMS精密製造工藝，將噴墨打印提升到了一個新的水平。